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單柱液壓機液壓缸內泄漏是液壓缸不保壓諸因素中影響最大的一種，且故障分析不像其他因素那樣直觀，因為閥件，液壓泵的泄漏或系統溢流閥、分流閥調節不當都可能產生類似液壓缸內泄漏的故障征兆，故在修理液壓缸之前，應查詢液壓缸工作壓力、活塞全行程時間等治療，了解液壓缸不保壓現象屬偶發型還是漸變型等，并與歷史記錄或標準值作一比較。
 
當單柱液壓機液控單向閥存在法相泄漏時，應檢查閥芯有否偏磨或劃痕，若損壞程度較輕�？捎�0.001mm的氧化鋁顆粒加入機油調配成研磨修復后用煤油滲透法檢驗，如果是因控制油壓無法釋放造成單向閥關閉不嚴，則應檢查液壓回油路的背壓是否過高，回油過濾器是否阻塞或檢查所更換的換向閥中位機能與原配相符否。